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散英魂寄千万雄鹰翱翔神州,
尽智魄载十亿慧芯呼唤华夏。
01
前沿导读
荷兰半导体观察者、《新鹿特丹商报》科技专栏记者马克·海金克在接受观察者网采访时表示:
中国区业务对ASML来说非常重要,美国的持续出口限制,损害了ASML的经济利益,不过我认为ASML最担忧的压根就不是经济上面的损失,而是中国本土竞争对手的崛起。
中国空缺出来的光刻机市场,将会被中国本土企业接手,尽管中国企业的设备没有ASML那么顶尖,但是中国企业可以在发展中持续积累经验,这是至关重要的一方面,而且中国企业还会获得更多的资金来打造国产设备。
在开发先进的国产DUV光刻机上面,中国企业已经取得了显著的技术进步,但距离大规模应用还有一段时间,未来的中国芯片会变得越来越自立自强。
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参考资料: 马克·海金克:独家对话|“对于中国市场,这才是阿斯麦的主要担忧” https://www.guancha.cn/xinzhiguanchasuo/2024_11_05_754180.shtml
02
产业短板
在谈论到中国在开发自主光刻机上所暴露出来的问题时,海金克指出:
ASML能成功,核心因素是这个公司只专注于制造光刻机这一件事,并且为了这一件事积累了40多年的技术经验,这种极高的专注力造就了ASML如今的光刻机统治者地位。并且ASML的光刻机遍布全球晶圆厂,这些国际客户为ASML贡献了大量使用数据,这些数据让ASML不断优化产品。
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将目光放在中国企业身上,中国本土晶圆厂一直都是以采购ASML的设备为主,ASML的设备技术成熟,效率高,可以大批量制造特定的芯片产品。
据ASML官方财报显示,2024年以及2025年ASML的中国区业务依然强劲,甚至在2024年第三季度,中国市场为ASML贡献了总营收的48%,是ASML的国际第一大客户市场。虽然中国对进口光刻机的需求一直居高不下,但中国本土的自主技术也在持续推动。
EUV光刻机被持续封锁,中国企业只能用所持有的ASML DUV光刻机去制造先进芯片。尽管这种方法的经济性较差,但确实可以解决先进芯片的短缺问题。
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美国的出口管制,让中国企业被迫走上自立自强的技术道路。采购ASML的设备并不是长久的打算,打造国产技术的先进光刻机是中国企业的最终目标。
中国企业制造了全球将近三分之一的传统成熟芯片,是成熟芯片的全球第一大供应商。采购ASML的光刻机使用,一方面可以保证成熟芯片的产能,为全球产业提供基础芯片,另一方面也可以在使用ASML光刻机的过程中逐步学习技术经验。
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ASML的某些设备被禁止运送到中国市场上,而中国企业采购设备所预留的资金,也自然而然的放在了本土企业身上,推动自主技术发展。
现在的中国企业已经具备了在光刻机研发上面的专注性、清晰的技术路线以及充裕的资源投入,构建出一条属于中国技术的产业模式。
03
产业融合
在ASML创立的时候,全球范围内有多个光刻机产业的竞争者,其中包括了美国GCA、珀金埃尔默、日本的佳能、尼康等企业。但是在随后的竞争当中,ASML打败了所有人,成为了该产业唯一的赢家。
其成功的因素一方面是与国际产业的深度合作,其中包括了加入美国EUV LLC技术联盟、收购美国硅谷集团、收购美国西盟公司、出售股权换取蔡司入股等政策。另一方面就是ASML坚持技术研发,通过后续的力量反超竞争对手。
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中国的光刻机产业,与当年ASML的产业路线如出一辙。
根据清华大学与长春光机所发布的官方新闻表示,2016年,清华大学通过了光刻机双工件台系统样机的研发项目验证,长春光机所也在这一年中通过了极紫外光刻原理装置的验证。
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该技术装置由长春、成都、上海三家光机所参与研发,中科院微电子所、北京理工大学、哈尔滨工业大学等高校联合进行技术攻坚,预计最快到十五五规划结束的2030年,实现EUV光刻机整机的国产化制造。
参考资料: 综合新闻----中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 http://www.ciomp.ac.cn/xwdt/zhxw/201611/t20161130_4713258.html
早在2008年的时候,我国就将DUV以及EUV光刻技术列入“32-22nm装备技术前瞻性研究”的重点推进项目。当时已经量产商用的国际光刻机技术为干式技术,先进的浸润式和EUV均还处于技术开发阶段。
参考资料: 媒体长光----中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 http://ciomp.cas.cn/mtcg/201707/t20170711_7929605.html
从技术立项的时间来看,我国的光刻机产业与国际水平并驾齐驱。但ASML聚集了欧美、亚洲地区的技术资源,背后还有美国资本的推动,率先完成了浸润式技术和极紫外技术的开发,成为了行业领先者。
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拥有了技术优势,ASML将先进的光刻机推向市场。从商业角度来说,相对于花费大量资源自主研发,直接采购ASML设备是最稳妥的选择,这也极大减缓了中国自主光刻机的研发进度。
在美国实施出口管制之后,切断了中国与国际产业链的合作,迫使中国企业将目光重点放在了自主技术的开发上。在大环境的推动下,逐步走向自立自强。
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