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弯道超车彻底失败了?ASML突然宣布:中国市场已有光刻机1400台

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话说回来,这几年半导体行业闹得沸沸扬扬,尤其是中国想在芯片制造上追赶欧美日韩的劲头,大家都看在眼里。

2023年11月,荷兰的ASML公司高层沈波在一次公开场合放出话来,说从1988年第一台光刻机运到中国大陆开始,到那年年底,他们已经在当地装了差不多1400台光刻机和计量设备。这消息一出,网上议论纷纷,有人觉得这是中国半导体实力上升的信号,也有人直呼“弯道超车”没那么简单,搞不好还得栽跟头。

ASML这公司是全球光刻机老大,垄断了高端设备市场,中国市场占他们销售额的20%多,这1400台机器主要散布在中芯国际、长江存储这些大厂里,用来生产逻辑芯片和存储芯片,大部分是DUV型号,帮着维持7纳米以上的制程产能。

中国半导体起步晚,80年代末才从ASML手里拿第一台步进式光刻机,那时候国内工厂基本靠进口设备搭生产线。90年代,华虹半导体之类的企业冒头,引进了干式光刻机,搞8英寸硅片生产,产量慢慢爬到百万片级别。2000年后,政策给力,国家出钱支持设备采购,中芯国际2000年建厂,很快就成了大客户,到2005年生产线占国内一半。

2010年代,芯片需求爆棚,中国成了全球最大消费国,占需求一半以上。2014年,国家集成电路基金砸1200亿,长江存储2016年上马,专门做3D NAND闪存,买了一堆浸没式DUV光刻机,年产值过百亿。2018到2020年,供应链出问题,中国企业囤货,ASML年均送上百台机器,北京上海武汉到处建厂,形成集群。


2021年中芯国际用NXT:1980i型号批量生产,每天处理硅片好几百片。2022年美国开始管制,禁EUV到中国,但DUV还能进。2023年中国从荷兰进口光刻机数量涨64.8%,总值超百亿,主要扩成熟制程。长江存储那年新厂上马,装了几十台,产量翻倍。

不过话说,这1400台机器听着多,但高端的EUV一台都没进中国大门。美国从2019年起就卡脖子,2023年10月更新规则,进一步限人工智能芯片和制造设备出口,把多家中国实体拉黑。荷兰也跟进,2024年1月生效新规,禁卖NXT:2050i和NXT:2100i这些型号,本来批的出口许可还被撤了。ASML1月1日声明,这影响了中国个别客户。

结果呢,中国企业转头优化存量设备,用多重曝光技术挤出更细节点。合肥长鑫2024年报告,DRAM产能靠这些机器占全球10%。但问题也来了,本土设备跟不上,上海微电子的90纳米原型2023年测试精度不够,没法马上顶上。2024年美国又升级管制,荷兰首相斯霍夫1月说,美国特朗普政府会继续施压,限ASML对华出口。ASML年报显示,2024年中国营收占36.1%,但他们计划在北京建维修中心,员工超1600人,仓库物流也扩了。


关键是,这1400台机器成了中国“弯道超车”的双刃剑。一边是产能上去了,自给率从2023年的30%爬到2025年的40%,芯片出口亚洲份额从15%升到25%。另一边,逆向工程的尝试暴露了短板。2025年10月,传出中国某厂技术员拆解一台DUV光刻机,想分析光学系统和控制模块,结果组不回去,镜片变形,激光源坏了,设备彻底瘫痪。工厂停产几周,亏了好几亿。

最终求ASML派工程师来修,检查后确认不是故障,是组装失败。类似事在其他地方也发生过,但都没成功复制核心技术。这事闹得台湾媒体直呼尴尬,会拆不会装,凸显中国在晶片制程上还卡在瓶颈。全球报道说,这种路径费时费力,成功率低。中国企业只好转合作研发,请国际专家调工艺,国家基金2025年追加投资,支持本土迭代。

美国管制没松口,2024年12月又加码,禁卖部分DUV给特定中国芯片厂。荷兰政府1月17日还决定不公开ASML对华销售数据,怕敏感。ASML首席执行官傅恪礼2025年4月说,中国2025年销售占比超25%,但2026年会大降,因为囤货高峰过了。需求从AI芯片转到成熟节点,像手机汽车工业用芯片。


中国靠DUV做5纳米,但产量不确定,能不能大规模可持续还得看。分析师说,中国半导体制造到DUV水平行,但高端还差十年。本土公司像AMIES,2025年2月成立,在深圳展会上秀复合半导体光刻机、激光退火系统,包装光刻机全球份额35%,中国90%。SMEE专攻后端包装,前端晶圆制造还追ASML。北方华创研发光刻系统,华为申请SAQP专利,想绕开EUV做5纳米。

总的说,这1400台机器帮中国稳住了基本盘,市场规模2025年占全球三分之一,投资超万亿,推供应链本地化。紫光展锐2025年扩手机芯片生产,用进口机器保竞争力。工程师培训多了,维护技能上去了,停机少。但逆向失败提醒大家,超车不是光买设备拆设备那么简单,得一步步搞创新。全球半导体高度全球化,美国管制伤敌一千自损八百,美企损失大,其他国家也受波及。


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