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中企正式宣布!回购中国已购光刻机,外媒:ASML专利权或不保

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这芯片圈的日子越来越不好过了,尤其是ASML这家荷兰光刻机老大,本来靠着技术垄断吃香喝辣,现在被中美夹击,日子真叫一个紧巴巴。从2022年10月美国商务部扔出第一颗炸弹开始,EUV光刻机直接对中国禁售,那玩意儿能搞3纳米以下的尖端芯片,中国企业一下子断了高端货源,只能死磕DUV深紫外机子。

中芯国际作为国内头牌晶圆厂,早几年从ASML手里进了上千台DUV,NXT:1980和NXT:2000系列的居多,扔在上海张江、北京亦庄、深圳坪山工厂里,每月能啃下几十万片晶圆,帮华为海思、紫光展锐这些大客户稳住阵脚。

2023年9月1日,荷兰政府跟风,规定ASML卖高端DUV到中国得一个个申请许可证。10月美国再加码,把24类半导体工具全管起来,中端DUV也中枪。

ASML老板彼得·温宁克10月18日财报会上直球说,中国市场占公司销售额快30%,去年49亿欧元,要是全堵上,订单得掉20%以上。结果呢,2023年Q4,对华出货从每月20台缩到17台,中芯上海厂产能利用率从85%直线跌到72%,每月少出2000万片晶圆,订单堆积如山。



2024年1月2日,ASML公告,荷兰撤了部分对华DUV出口许可,NXT:2050i和NXT:2100i的订单全黄,总值5亿欧元,本来是要去中芯28纳米线的。路透社说,这些机器都组装好了,就卡在鹿特丹港等船。

中芯北京厂只好加班扛,但良率晃荡了5个百分点。3月28日,美国禁软件更新,中国海关数据一季度DUV进口额从28亿欧元掉到22亿,同比亏22%。ASML4月10日投资者会上,温宁克承认中国订单从150亿欧元砍到120亿,公司赶紧在荷兰Veldhoven扩厂,加1000人,但维也纳研发中心50个工程师项目拖了半年。

下半年,美国国会8月29日通过决议,审DUV零件出口,ASML激光源靠美国Cymer,一台DUV10万个零件,30%美产,断供组装周期从6个月变12个月。9月2日,中国商务部回击,ASML敢配合就限市场准入。



9月3日,ASML股价崩3.2%,市值亏80亿欧元。荷兰首相马克·吕特9月12日欧盟峰会上嘴硬,说要平衡安全和经济,但没松口。12月2日,美国加140项DUV限制,浸没式镜头模块当天生效。

2025年开局,1月17日荷兰豁免部分双重用途出口,但高端DUV还得逐案。中芯订单继续缩水。特朗普1月20日上台,3月28日黑名单加几十家中芯供应商,ASML Carl Zeiss镜片延期20%,北京厂维修排队3个月。

4月,中芯拉上海微电子,引50台国产SSA800 DUV原型,浸没式良率80%,先在深圳7纳米线上试水。7月,美国国会报告,中国二手市场搞了380亿刀设备,呼吁禁浸没式出口。ASML财报,中国业务拉低全球份额,从48%到46%。



中芯不干了,早就在憋大招。2024年3月21日业绩会上,联席CEO梁孟松直接点名ASML,合同里写得清清楚楚,供应商得管10年备件和现场维护,不然买方有权回购退货。这些DUV总值120亿刀,数百台NXT:2000i,北京厂一年产值30亿刀

要是维护一断,每台坏一周亏500万,全年超10亿。中芯自己训了200人维修队,会搞光学校准和真空腔体,但激光镜片规格缺口大,成本高40%。梁孟松这话说出口,就等于正式亮剑,外媒炸锅了。



回购这事儿,物流是个大坑,从上海拆到深圳运荷兰,加关税仓储至少多20%钱,路透社4月2日报,ASML得掏数百亿欧元,2025现金流直接重伤。彭博社算账,上千吨设备,几个月搞不定。

金融时报5月15日更狠,说中芯一告中国法院,就能冻ASML上海仓库5亿欧元货、北京研发中心,强制转DUV专利,像浸没曝光模块啥的,ASML全球份额亏5%。ASML6月10日荷兰商会回应,说在评估合同,但维护中断是美国逼的,董事会砸1亿欧元请律师。



这下ASML真慌了。8月18日,在华员工从1500砍到1200,维护合同到期全遣。10月24日,TrendForce爆,中国华为关联的上海宇量昇拆一台老DUV逆向工程,激光模块烧了,赶紧打电话求ASML抢修。Asia Times25日跟进,说他们供28nm DUV给中芯试7nm多重图案,但规模化还早。国家兴趣讽刺,中芯7nm靠DUV叠加,良率60%,成本比台积电高30%。

9月17日,中芯开始测宇量昇国产DUV,28nm浸没式,能推到7nm,TrendForce说至少一年调稳定。ASML前CEO Peter Wennink4月24日承认,美国有时挡DUV维护。荷兰8月30日计划不续顶级DUV服务许可,2024年底到期,中芯7nm恐折翼。彭博社说,这打击中国先进制程。



外媒Seeking Alpha8月28日,ASML估值得慎,中国需求2025暴跌,本土替代来势汹汹。Tom’s Hardware9月13日,上海微电子专利EUV辐射器,破ASML枷锁。CSIS10月28日,中芯7nm漏美工具漏洞。ASML2025展望,中国销售降到20%,但DUV需求还撑着上半年5.1亿欧元。

这博弈,核心是维护权。中芯DUV保有950多台,不修就废,ASML不修就赔本。梁孟松不是吹牛,2023年底中芯维修组就上手,长江存储类似逻辑,早说过5000亿回购或专利选一。中国商务部限准入,ASML中国营收从49亿欧元滑坡。荷兰数据,2025Q1豁免双用,但高端卡死。

现在看,ASML专利在中国真悬。法院一判,浸没模块技术外泄,全球DUV市场中国占大头,份额丢了回不来。中芯国产DUV良率爬坡,华为麒麟稳住,ASML股价承压,市值80亿欧元一夜蒸发成常态。芯片战打到这步,外媒直呼ASML专利不保,中企回购条款一启动,荷兰老大哥得哭晕。



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