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金融界2025年8月16日消息，国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“一种终点检测系统在线校准方法及其装置”的专利，公开号CN120497180A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本申请提供了一种终点检测系统在线校准方法及其装置，其中所述方法包括通过终点检测系统获取刻蚀或薄膜设备腔体内第一光谱信号数据；对第一光谱信号数据进行处理，得到第一有效数据。将第一有效数据与标准数据库中预设物质的特征峰值对比，得到波长误差；再根据波长误差判断终点检测系统是否需要校准。
天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本211.1508万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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