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金融界2025年7月21日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料股份有限公司申请一项名为“离子植入器中X射线折射角度确认”的专利，公开号CN120345047A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，揭示一种有利于将离子束导引至工件的结晶结构中的离子植入器。离子植入器包括：离子源，用于产生离子束；台板，用于对具有结晶结构的工件进行支撑；X射线源，用于产生X射线束，其中X射线束的至少一部分撞击工件以生成经绕射X射线；X射线检测器，被定位成接收经绕射X射线；以及控制器，与X射线源、台板及X射线检测器进行通讯。控制器包含指令，指令使离子植入器能够在工件被设置于台板上之后实行摇摆曲线测试且基于摇摆曲线测试的结果来为离子植入制程计算台板的定向以有利于将离子束导引至工件的结晶结构中。
本文源自：金融界
作者：情报员
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