北京
金融界2025年6月10日消息，国家知识产权局信息显示，天津吉兆源科技有限公司申请一项名为“一种静电卡盘及半导体设备”的专利，公开号CN120127047A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明提供了一种静电卡盘及半导体设备，属半导体制备技术领域。本申请通过将电荷发生器与顶针组件连接，当需要将晶圆在静电卡盘上进行脱附时，启动电荷发生器，由于介电层上表面的残留正电荷，因此电荷发生器产生的设定电荷为负电荷，电荷发生器将产生的负电荷传导到顶针组件上。当顶针组件顶起晶圆的同时由于顶针组件上布满负电荷，负电荷与介电层上表面的正电荷相互抵消，因此降低晶圆与静电卡盘之间的吸附力，使得晶圆与静电卡盘脱附过程中更好的完成脱附，避免晶圆与静电卡盘无法完成顺利脱附以造成晶圆出现破损的情况发生，解决了现有技术中J‑R型静电卡盘中除电不良导致晶圆脱附过程中出现破损的技术问题。
天眼查资料显示，天津吉兆源科技有限公司，成立于2018年，位于天津市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，天津吉兆源科技有限公司参与招投标项目4次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息41条，此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
