北京
金融界2025年5月28日消息，国家知识产权局信息显示，拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司申请一项名为“化学液的排放控制系统、排放方法和半导体的清洗装置”的专利，公开号CN120048755A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种化学液的排放控制系统、排放方法以及半导体的清洗装置。排放控制系统包括：第一传感器，设于工艺腔内，用以检测工艺腔内是否存在化学液，其中，化学液至少包括第一化学液和第二化学液；排放阀组，设于暂存区的下游，暂存区用以承接从所述工艺腔流入的化学液，至少包括第一排放阀和第二排放阀，其中，第一排放阀导通以排放第一化学液，第二排放阀导通以排放第二化学液；以及第二传感器，设于暂存区内，当第二传感器检测到暂存区内没有第一化学液时，关闭第一排放阀，并向工艺腔内通入第二化学液。
天眼查资料显示，拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司，成立于2020年，位于嘉兴市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1067.5409万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息7条，专利信息90条，此外企业还拥有行政许可5个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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