北京
金融界2025年5月16日消息，国家知识产权局信息显示，上海芯东来半导体科技有限公司申请一项名为“一种六自由度精密运动台”的专利，公开号CN119987162A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本发明属于光刻机技术领域，尤其是一种六自由度精密运动台，包括基座、宏动模块、微动模块、气浮模块和基底台，宏动模块包括X向驱动模块和Y向驱动模块，微动模块包括底座、垂向驱动模块、旋转驱动模块和交接模块，气浮模块包括气浮左侧组件、气浮右侧组件和气浮中间组件，基底台包括微动台和基底吸盘。本发明中，宏动模块通过X向驱动模块和Y向驱动模块分别实现基底台在X向和Y向的移动，微动模块通过垂向驱动模块、旋转驱动模块和交接模块分别实现基底台在Z向、Rx和Ry向的调节和Rz向的调节以及基底台的上载及下载，从而可实现运动台的六自由度控制。
天眼查资料显示，上海芯东来半导体科技有限公司，成立于2023年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯东来半导体科技有限公司参与招投标项目9次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息33条。
本文源自：金融界
作者：情报员
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