北京
分享至
金融界2025年5月12日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“静电卡盘、静电卡盘的制造方法以及等离子体处理装置”的专利，公开号 CN119965146A，申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示，本发明提供一种可以在静电卡盘中防止键合层的变形并防止升降销的损坏的静电卡盘、静电卡盘的制造方法以及等离子体处理装置。根据本发明的支承基板，并在垂直方向上贯通有至少一个销孔，并且在所述销孔中能够升降地容纳升降销的静电卡盘包括：陶瓷定位器，安放所述基板；基底板，支承所述陶瓷定位器；键合层，用于所述陶瓷定位器和所述基底板的结合；以及绝缘管，安装于所述销孔的内侧壁。所述绝缘管包括：上绝缘管，接合于所述陶瓷定位器；以及下绝缘管，粘着于所述基底板。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
