金融界2025年4月22日消息,国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司申请一项名为“套刻误差量测图形”的专利,公开号CN119846916A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请提供了一种套刻误差量测图形,包括多个阵列分布的量测区,一个所述量测区对应一个曝光场,每个所述量测区按照4种减点模式中的一者在正常量测点集合中减少n个量测点,n大于或等于1,在多个连续的所述量测区构成的预定区域内,4种所述减点模式按照四色定理分布。本申请利用四色原理确定所述预定区域内的每个所述量测区的减点模式,使得所述预定区域内的量测点分布较为均匀,进而提高整个所述套刻误差量测图形中的量测点的分布均匀性,提高套刻误差观测分析模型的精度。
天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目166次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息625条,此外企业还拥有行政许可55个。
本文源自:金融界
作者:情报员
特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.