北京
金融界2025年2月3日消息，国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司取得一项名为“种炉管设备”的专利，授权公告号 CN 222418558 U ，申请日期为 2024年5月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种炉管设备，包括晶圆储存和传送区、FIMS装置、装载过渡区，晶圆储存和传送区内的晶圆通过FIMS装置向装载过渡区传送；FIMS装置包括晶圆盒承载台和操纵门，晶圆盒承载台设置有至少一个进气口和至少一个排气口，通过FIMS装置中的操纵门的打开状态，可进行FIMS装置和装载过渡区之间晶圆的相互传送；装有晶圆的晶圆盒在FIMS装置上时，晶圆盒承载台上的进气口和排气口打开，进气口的进气速度大于排气口的排气速度；当晶圆盒内的气体达到预设气压时，关闭排气口，打开操纵门以及晶圆盒的门，其中，预设气压大于装载过渡区的气压，防止颗粒污染晶圆盒内的晶圆；传送完晶圆盒内晶圆时，操纵门关闭并同时关闭晶圆盒门。
天眼查资料显示，广州增芯科技有限公司，成立于2021年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本682000万人民币，实缴资本301000万人民币。通过天眼查大数据分析，广州增芯科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目35次，知识产权方面有商标信息46条，专利信息39条，此外企业还拥有行政许可162个。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
