北京
金融界2025年1月28日消息，国家知识产权局信息显示，上海稷以科技有限公司申请一项名为“等离子体设备及等离子体密度的调节方法”的专利，公开号 CN 119361408 A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，本发明提出了一种等离子体设备及等离子体密度的调节方法，该设备包括：设备本体，其腔体的上段和下段之间形成台阶，腔体上设置谐振线圈；及调节单元，用于调节腔体内等离子体的密度，其设置于腔体的外部，其包括：上永磁铁，设置于上轨道并位于位于腔体的一侧，该侧对应的晶圆膜厚度，低于腔体其他方位对应的晶圆膜厚度；下永磁铁，用于与上永磁铁形成磁力线，磁力线位于腔体内，下永磁铁与上永磁铁对应设置；下永磁铁放置于下轨道；下轨道套设于谐振线圈的外部并放置于台阶；上轨道和下轨道之间通过支撑杆连接。本发明利用磁力线将腔体内的等离子体分布调整为趋于一致，可提高晶圆膜的均匀性。
天眼查资料显示，上海稷以科技有限公司，成立于2015年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本475.5886万人民币，实缴资本475.5886万人民币。通过天眼查大数据分析，上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目82次，知识产权方面有商标信息30条，专利信息104条，此外企业还拥有行政许可9个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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