金融界2024年10月30日消息,国家知识产权局信息显示,上海谦视智能科技有限公司取得一项名为“一种集成晶圆崩边测量的晶圆预对准平台”的专利,授权公告号CN 221885076 U,申请日期为2024年3月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种集成晶圆崩边测量的晶圆预对准平台,包括支撑组件、光源、检测组件以及对齐相机,所述对齐相机用于拍摄所述晶圆和所述支撑组件的图像,识别所述晶圆的位置和状态,本实用新型可以提升晶圆预对准装置的整体功能性,有助于提升设备的整体效率。
本文源自:金融界
作者:情报员
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