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金融界2024年8月30日消息，天眼查知识产权信息显示，芜湖通潮精密机械股份有限公司取得一项名为“一种可改变孔径径深的气体扩散器“，授权公告号CN221626377U，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本实用新型属于有机发光二极体技术领域的可改变孔径径深的气体扩散器。本体中心部（2）和本体边角部（3）位置分别设置气体扩散孔（4），气体扩散孔（4）包括直孔段（5）、毛细孔段（6）、喇叭孔段（7），本体边角部（3）位置的气体扩散孔（4）的毛细孔段（6）的高度尺寸大于或小于本体中心部（2）位置的气体扩散孔（4）的毛细孔段（6）的高度尺寸；本体边角部（3）位置的气体扩散孔（4）的直孔段（5）的高度尺寸小于或大于本体中心部（2）位置的气体扩散孔（4）的直孔段（5）的高度尺寸。本实用新型所述的可改变孔径径深的气体扩散器，能够有效改善CVD成膜时因气流四周扩散不均造成的膜厚不均一性问题，提升产品品质。
本文源自：金融界
作者：情报员
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