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金融界2024年6月28日消息，天眼查知识产权信息显示，安集微电子科技（上海）股份有限公司申请一项名为“一种化学机械抛光液“，公开号CN202211698519.2，申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，本发明提供了一种化学机械抛光液，包括水，二氧化硅研磨颗粒，氮化硅抑制剂，稳定剂，钨抛光促进剂，过氧化物，PH调节剂。本发明中的化学机械抛光液可以在保证较高钨的抛光速度的同时，抑制氮化硅和氮化钛的去除速率，并使氮化硅/氮化钛的去除速率选择比可调。
本文源自：金融界
作者：情报员
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