掩膜写入机的进与退：台积电出钱 英特尔“获益”

集微网报道 近期英特尔将出售IMS一成股份给台积电的交易并没有在业界激起多少“浪花”，业界大都从IMS的重要性和台积电垂直整合的角度来正向解读。

但如果将其放在时间轴来分析，台积电与IMS在10年前就开始合作研发，为何到现在才出手购买其10%的股权？

或许这并非表面那么简单。

IMS的重头戏

谈及半导体设备，荷兰光刻机巨头ASML可谓耳熟能详。不过值得注意的是，在半导体制造过程中，IMS提供的多光束掩膜写入机也尤为重要。IMS于1985年在维也纳成立，产品主要应用于先进工艺节点光刻掩膜制造。

掩膜版的重要性毋庸置疑。随着工艺的演进，掩膜版需求在不断走高。据了解，14nm工艺大概需要60个掩膜版，7nm约需80甚至上百个。与之相应的是，掩膜版价格也在节节攀升。据IBS数据显示，掩膜成本在16/14nm工艺中大约为500万美元，而在7nm工艺中，掩膜成本迅速上升至1500万美元。

在掩膜版的总成本中，包括写入机、Inspecition等设备，石英、光刻胶等原材料以及包括OPC、MDP等软件，写入机占据的分量不轻。

有专家分析，如果没有IMS的多光束掩膜写入器，所有EUV工艺技术都将陷入停顿，ASML的EUV设备将难有用武之地。而且，随着光刻技术向高数值孔径（High-NA）EUV微影技术迈进，其进步需仰赖复杂的掩膜写入工具，在先进工艺持续向前的推动之下，IMS技术将发挥重要作用。

或许正是早早认识到掩膜写入机的重要性，英特尔早于2009年就投资了IMS，并在2015年最终收购了IMS。经过多年的打拼，IMS业已在多光束掩膜写入机市场占据绝对垄断地位。

据悉，自从被英特尔收购以后，IMS的员工和产能提高了四倍，先后开发了三代产品，为英特尔带来了可观的收益。

台积电的收成

此次台积电拟不超4.328亿美元收购英特尔手中IMS约10%股权，表面看起来端的是一门“好生意”。

以赛亚调研（Isaiah Research）认为，整体来看，台积电一直以来都在采取垂直整合的策略，以在半导体制造领域掌握各个环节的技术和资源。特别值得注意的是，台积电自己制造光罩，光罩的精度和质量对于芯片的性能至关重要，而IMS在某种程度上可以看作是台积电的供应商，可为其提供关键产品。

更进一步来看，以赛亚调研指出，台积电收购IMS股权是为了确保知识产权（IP）。IMS拥有与光罩技术相关的Know-How，在掩膜写入机市场占据了九成以上的市场份额。台积电通过收购其股权，可以更助于实现上下游的垂直整合，提高了公司对关键组件的掌控，从而确保其在技术竞争中保持领先地位。

细究起来，台积电与IMS早有渊源。

自2012年以来，台积电就与IMS展开合作，开发用于先进技术节点的多波束掩膜写入器。台积电业务发展高级副总裁张凯文在媒体表示，此次投资将延续双方的长期合作伙伴关系，以加速创新并实现更深层次的跨行业合作。

上述专家也指出，台积电这一决定或有助于在2nm竞争中占据优势。随着2nm竞争从三强争霸到四雄逐鹿，无论是台积电、三星、英特尔还是日本Rapidus，都将目光锁定在了2025年豪言实现2nm首发。2025年不仅是2nm制程的关键一年，更将是代工格局迎来重塑的拐点。在2nm时代，不只要采用ASML下一代High-NA EUV设备，也需要借助掩膜写入机的力量，台积电或可借投资IMS稳固合作，与其他对手拉开距离。

英特尔的深意

看起来这一交易是“皆大欢喜”。

英特尔企业发展资深副总裁 Matt Poirier表示，这项投资展现了IMS正在开拓深入的产业合作，以推进关键节点的关键微影技术，将惠及整个半导体制造生态系统。随着独立性的增强，IMS将蓄势待发应对未来十多年多光束掩膜写入机的重大发展机会。

IMS也正面回应称贝恩资本和台积电的投资，增加了IMS的独立性，将推动企业在下一阶段的微影技术创新，巩固IMS在多光束掩膜写入领域的领导地位。

但要指出的是，2023年6月，英特尔宣布将IMS约20%股份出售给贝恩资本，而前不久英特尔又将IMS约10%的股份出售给台积电。短短三个月接连出售IMS三成的股份，英特尔或有何苦衷？

业内人士纪涵（化名）指出，巩固生态圈的理由听起来十分合理，只要对利益共同者都有好处，相互股权渗透也是好事。但台积电与IMS十年前就开始合作研发，到现在才去买其10%的股权，这确实有点匪夷所思。

以ASML来对比，纪涵提到，台积电投资并拥有ASML的部分股权，但是在当初ASML难以支撑之际台积电出手支持，并一路合作发展至今。因而，技术独特性在这一时间点似乎不是那么令人说服的说法。而IMS近期是否有新的技术出现，尚无法验证，只能等时间来证明2nm的完胜花落谁家。

“企业相互投资，有时也是因为生存问题而不得不的选项，外界可能难以明了其中真正的关键因素。”纪涵最后直言道。