荷兰正式加入美制裁阵营，限制DUV光刻机出口，外交部提出交涉

前言

继1月美日荷三方会谈后，荷兰首次正式表态。

当地时间3月8日，荷兰政府以“国家安全”为由，宣布将对包括“最先进的”深紫外光刻机（DUV）在内的特定半导体制造设备实施新的出口管制，并加入美国对华芯片出口管制的阵营。

据路透社消息，这一决定由荷兰贸易部长Liesje Schreinemacher在给议会的一封信中宣布，称限制措施将在夏季之前出台。

荷兰贸易部长Liesje Schreinemacher的会议致函

会议致函中还指出“荷兰认为有必要以最快的速度对这项技术进行监管，因此荷兰政府将会尽快出台一份国家管控清单”。

随后，光刻机巨头ASML在3月9日上午发布声明表示，ASML预计必须申请许可证方可出口DUV设备。

ASML强调，新的出口管制措施并不针对所有浸润式光刻系统，而只涉及所谓“最先进”的浸润式光刻系统。

截至目前相关企业尚未收到有关“最先进”的确切定义的信息，ASML将其解读为在资本市场日会议上定义的“关键的浸润式光刻系统”，即TWINSCANNXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统。

对于荷兰这一决定，中国外交部发言人毛宁9日在北京举行的例行记者会上表示，中方对荷方以行政手段干预限制中荷企业正常经贸往来的行为表示不满，已向荷方提出交涉。

毛宁强调，希望荷方秉持客观公正立场和市场原则，尊重契约精神，不滥用出口管制措施，维护国际产业链供应链稳定和自由开放的国际贸易秩序，维护中荷两国和双方企业共同利益。

01 .出口管制后，我们还能买到哪些DUV？

根据ASML官网公布的产品信息，ASML在售的浸润式DUV光刻机主要有三大型号：TWINSCAN NXT:2050i、TWINSCAN NXT:2000i和TWINSCAN NXT:1980Di。

ASML官网公布的在售浸润式光刻机型号

根据ASML的解读，其NXT:2000i及之后的浸没式光刻系统将会受到出口限制。

也就是说，NXT:1980Di仍将可以出口，即国内大量采用NXT:1980Di进行成熟制程制造的晶圆厂将不会受到影响。

但也有内部人士称，允许出口的NXT:1980Di将被限制部分软硬件性能。

ASML在官网介绍称，NXT:1980Di的分辨率可以达到≤38nm，每小时可以生产275片晶圆。与NXT:2000i一样，这种步进式扫描系统是一种高生产率的双级浸没式光刻工具，专为先进节点的300mm晶圆批量生产而设计。

据了解，通过多重曝光，NXT:1980Di依然可以支持7nm左右工艺，如台积电第一版7nm工艺，但这可能会面临步骤更复杂、成本更高以及良率损失等问题。鉴于此，目前NXT:1980Di更多还是被用于45nm以下成熟制程的生产。

一位业内人士指出，“可以说NXT:1980Di还能卖，给（国内）后续N+1、N+2工艺留了一口气。”而彭博社则认为，如果ASML的说法正确，那么荷兰的新规定可能达不到美国对芯片设备行业施加的限制要求。

此外，据电巢了解，在荷兰此次拟定的最新出口管制新规之前，国内已有数台NXT 2050i交付。

不过，还有一点疑虑是，若出口管制规则正式实施，中国此前购买的ASML光刻机，是否还能继续接受其相应的售后维护与技术支持服务？若答案是否定的，那国内的先进制程芯片制造短期内恐怕不容乐观。

02 .荷兰伤敌一千自损八百？

此前，2019年ASML最先进的EUV光刻机就已经被禁止向中国销售，荷兰的EUV已经失去中国市场。如今，DUV的销售也将受到极大限制。

对于荷兰此次出口管制新规的影响，ASML方面回应称，“预计这些措施不会对我们发布的2023年财务前景，或去年11月投资者日期间宣布的长期展望产生重大影响。”

但事实上，ASML此前对于出口管制的态度并不满意，其CEO温宁克曾在1月底公开表示，“全球贸易和出口管制的增加以及对技术主权的推动，可能导致全球贸易、竞争和技术供应链发生长期变化，这可能对我们的业务和增长前景产生不利影响。”他还批评道：“不断升级的贸易紧张局势破坏了全球芯片生态系统，并警告各国政府不要陷入保护主义。”

温宁克还表示了自己的担忧，由于美国去年实施严厉的单边制裁，中国别无选择，只能打造自己的先进芯片生态系统。

中国市场对于ASML尤为重要，出口管制的实施，无疑会让荷兰的企业得不偿失。

根ASML此前预测，2023年中国的销售额将保持在22亿欧元左右，占ASML总销售额的18%。

另外值得一提的是，荷兰一家规模较小、几乎与ASML同名的ASM International（ASMI）也将受限。ASMI主要生产用于采用原子层沉积（ALD）技术芯片的晶圆涂层设备。

ASMI首席财务官Paul Verhagen表示，根据目前的估计，限制将影响的产品占中国销售额的七分之一到四分之一，占整个集团销售额的3%左右。

总 结

近年来，美国为了将中国半导体制程锁死在14nm之下，多次向欧洲以及韩国、日本施压，加入其管制阵营。美日荷三方谈判后，荷兰如今首次披露了相关协议细节，据悉日本稍后也将跟进，公布其相关管制政策。

我国芯片行业发展正面临着前所未有的挑战，但对此，我们继续引用ASML CEO温宁克的话：“如果他们（中国）不能得到这些机器，他们就会自己研发这些机器。这需要时间，但最终他们会达到目标。”