国家知识产权局信息显示,北京锋速精密科技有限公司申请一项名为“一种晶圆激光修调设备中应用的气动控制功率测量机构”的专利,公开号CN122659669A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体制造设备技术领域,尤其涉及一种晶圆激光修调设备中应用的气动控制功率测量机构。所述机构采用四层递归架构,包括物理驱动层、光学耦合层、控制执行层和反馈优化层;物理驱动层通过气缸驱动镜片座沿导轨上下移动;光学耦合层通过反射镜片实现光路的按需切入与切出;控制执行层通过位置传感器实现镜片位置的闭环控制与测量时序管理;反馈优化层通过多轮测量数据的积累分析,自适应生成测量触发策略和位置补偿参数,反向优化底层控制参数;提升了功率测量的定位精度和综合性能评估能力。
天眼查资料显示,北京锋速精密科技有限公司,成立于2013年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析,北京锋速精密科技有限公司参与招投标项目11次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息15条,此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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