北京
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国家知识产权局信息显示，鹰港科技有限公司申请一项名为“用于等离子体系统的纳秒脉冲发生器RF隔离”的专利，公开号CN122658978A，申请日期为2020年12月。
专利摘要显示，本公开的实施例包括一种等离子体系统。所述等离子体系统包括：等离子体腔室；RF驱动器，其配置为用RF频率将突发驱动到所述等离子体腔室中；纳秒脉冲发生器，其配置为用脉冲重复频率将脉冲驱动到所述等离子体腔室中，所述脉冲重复频率小于所述RF频率；高通滤波器，其部署在所述RF驱动器与所述等离子体腔室之间；和低通滤波器，其部署在所述纳秒脉冲发生器与所述等离子体腔室之间。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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