陕西
液体颗粒计数器在电子级高纯化学品来料及制程管控应用
半导体、面板制造大量使用电子级高纯化学品，涵盖各类高纯酸、高纯碱、有机溶剂、显影液、剥离液、光刻配套药液。电子化学品当中微小固体颗粒，会引发晶圆刻蚀缺陷、光刻图形畸变、基板表面划伤，是制约芯片、面板产品良率的关键因素。传统化学分析手段侧重检测金属离子杂质，很难对不溶性固体颗粒定量统计，液体颗粒计数器成为电子化学品品质管控的核心工具。
从原料入厂、调配过滤、灌装储存，再输送至工艺机台，每一个环节均存在颗粒污染风险。原料自带杂质、过滤滤芯碎屑、输送管路溶出、储存容器析出，都会提升化学品内部颗粒含量。液体颗粒计数器应用于原料进厂验收，完成来料颗粒等级筛查，从源头把控化学品品质。
过滤工艺验证阶段，检测过滤器进出口的颗粒计数，计算滤芯实际过滤效率，验证过滤工艺是否满足生产要求，确定滤芯更换周期。部分电子化学品具备强腐蚀性，仪器接液部件必须具备优异耐化学腐蚀能力，防止仪器被介质腐蚀产生碎屑，造成检测结果虚高失真。
生产现场，在线型液体颗粒计数器安装在化学品输送管路，实时监控流向机台药液颗粒水平，出现超标即刻报警，阻止不合格药液进入工艺设备，规避批量产品报废风险。实验室离线模式，用于成品批次抽检，完成产品出厂检验。普洛帝 PMT‑2 液体颗粒计数器可配置耐强腐蚀惰性接液组件，适配多种酸碱、有机溶剂，支持离线化验和产线在线监测，满足半导体、光伏、显示行业电子化学品颗粒检测需求
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