国家知识产权局信息显示,北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“门阀组件和半导体工艺设备”的专利,授权公告号CN224665299U,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,本申请公开了一种门阀组件和半导体工艺设备。该门阀组件用于对半导体工艺设备中的工艺腔室的传输口进行封闭,主要包括:挡板主体,为板状结构,用于封闭传输口;支撑件,与挡板主体连接,用于驱动挡板主体靠近或远离传输口;调节机构,用于调节挡板主体和支撑件在连接处的间隔距离;挡板主体和支撑件之间,沿挡板主体的长度方向,依次排列设置有多个调节机构。通过该门阀组件能够提高挡板主体和传输口之间的封闭效果,避免工艺腔室的传输口密封不严引发工艺气体在传输口处溢出、传输口内产生副产物沉积等问题。
天眼查资料显示,北京北方华创微电子装备有限公司,成立于2001年,位于北京市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目1484次,财产线索方面有商标信息75条,专利信息5904条,此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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