北京
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国家知识产权局信息显示，索泰克公司申请一项名为“用于通过分子附着来组装两个衬底的方法”的专利，公开号CN122623470A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于通过分子附着来组装两个衬底的方法，这两个衬底中的至少一个衬底设置有表面介电层。所述方法包括通过将表面介电层暴露于在激活腔室（3）的两个电极（4a，4b）之间形成的等离子体来激活表面介电层，激活时间为15秒至2分钟，在激活时间期间向两个电极中的一个电极施加射频功率。所述方法包括向激活腔室（3）中引入受控流量的氧或氮以及受控流量的含硫气体。所述方法的特征在于，射频功率的密度严格大于1.1 W/cm²。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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