北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“一种控制制造装置及相关装置的方法”的专利，公开号CN122514729A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，公开了一种用于确定对在制造工艺中使用的至少一个制造装置的控制的校正的方法，该制造工艺用于为衬底上的至少一个区域提供结构，所述区域包括在公共层中的至少第一子区域和第二子区域。所述方法包括：在衬底上形成所述第一子区域时，获取与所述制造工艺相关的工艺误差数据；从所述工艺误差数据确定第一产品上误差，所述产品上误差与所述第一子区域的形成中的误差相关；以及在所述衬底上形成所述第二子区域时，从所述产品上误差确定对所述制造工艺的校正。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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