恒运昌申请阻抗匹配装置相关专利，动态适配频变场景，提升阻抗匹配效能

来源：新浪证券-红岸工作室

7月15日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请一项名为“阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质”的专利。申请公布号为CN122387258A，申请号为CN202610866531.1，申请公布日期为2026年7月14日，申请日期为2026年6月16日，发明人林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅，专利代理机构北京棋拾知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师杨雪婷，分类号G05F1/12。

专利摘要显示，本申请公开了一种阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质。该方法包括：获取当前的原始功率信号；根据预设连续频率范围内的多个频率形成多个扫频信号；计算各扫频信号与原始功率信号之间的差异，并将差异最小的扫频信号对应的频率确定为工作频率；根据工作频率执行阻抗匹配处理。通过采用上述方案，能够在功率信号源频率特性发生变化时，动态确定更适合当前原始功率信号的工作频率，解决现有技术中固定工作频率难以适应实际信号频率变化而导致阻抗匹配效果较差的问题，提高阻抗匹配的准确性、匹配稳定性以及信号或能量传输效率。

恒运昌成立于2013年3月19日，将于2026年1月28日登陆上海证券交易所上市，公司注册及办公地址均位于广东省深圳市，是国内等离子体电源领域领先厂商，主营核心等离子体电源相关产品，具备较强的细分赛道技术壁垒。

公司主营业务涵盖等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源及相关配件的研发、生产、销售与技术服务，同时布局真空获得、流体控制等核心零部件品类，为下游客户提供等离子体工艺全维度核心零部件整体解决方案，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，当前纳入芯片概念、高价股、百元股三大概念板块。

2025年，公司实现营业收入5.29亿元，在26家同行业可比企业中排名第22位，同期行业营收龙头北方华创、中微公司分别录得393.53亿元、123.85亿元，行业平均营收为40.12亿元，行业营收中位数为13.86亿元；当期公司归母净利润达1.14亿元，行业排名第15位，同期行业净利润前两位分别为北方华创54.09亿元、中微公司20.64亿元，行业平均净利润为5.9亿元，行业净利润中位数为1.62亿元。从营收结构来看，公司自研产品贡献收入4.15亿元，占总营收比重78.38%，引进产品实现收入8661.32万元，占比16.36%，技术服务收入为2788.26万元，占比5.27%。

指标类别具体指标数值情况行业对标营收表现2025年营业收入5.29亿元，行业排名22/26行业均值40.12亿元、中位数13.86亿元，头部企业北方华创393.53亿元、中微公司123.85亿元利润表现2025年净利润1.14亿元，行业排名15/26行业均值5.9亿元、中位数1.62亿元，头部企业北方华创54.09亿元、中微公司20.64亿元营收结构自研产品收入占比78.38%（4.15亿元）营收结构引进产品收入占比16.36%（8661.32万元）营收结构技术服务收入占比5.27%（2788.26万元）

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1阻抗匹配方法和装置、电子设备及计算机可读存储介质发明专利公布CN202610866531.12026-06-16CN122387258A2026-07-14林伟群、唐亚海、奥维迪乌·丹尼尔·斯坦、乐卫平、姚志毅2增益定标方法、动态阻抗测试方法、设备及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610655279.X2026-05-13CN122172062A2026-06-09林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿3射频电源的最大梯度角确定方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610655069.02026-05-13CN122218558A2026-06-16林伟群、乐卫平、黄永镇、钟睿4射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利公布CN202610502496.52026-04-15CN122372552A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛5射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利公布CN202610503991.82026-04-15CN122372554A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛6射频电源的数据更新方法、射频电源及射频等离子体电源系统发明专利公布CN202610503110.22026-04-15CN122372553A2026-07-10林伟群、乐卫平、唐亚海、刘雄、徐希睿、张文涛7一种基于MEMS流量传感器的封装结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511718126.72025-11-21CN121783294A2026-04-03乐卫平、张文伟、陈宇龙、伍焕灵、宋秋明、贾原、田金鹏、陈韵平、刘涛、张文杰8射频电源外观专利授权CN202530576887.82025-09-26CN309908228S2026-04-10吴基锴、黄晓东9石墨舟的清洗方法、控制装置及清洗设备发明专利公布CN202511222075.92025-08-28CN120984635A2025-11-21乐卫平、刘涛、谢幸光、阳先峰、范天赐、吴凤波10电感耦合式离子源外观专利授权CN202530508853.52025-08-27CN309893090S2026-04-03范天赐、杨博文、阳先峰11一种D类逆变器及射频电源实用新型授权CN202521178423.22025-06-10CN224329399U2026-06-05林桂浩、林伟群、龚城12基于电场耦合的电压采样电路和射频匹配器实用新型授权CN202520985855.82025-05-19CN224203290U2026-05-05林伟群、章兵13烧结散热板的功放电路板及其制造方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510637416.22025-05-16CN120456433A2025-08-08林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩14一种散热电感、匹配器及射频能量传输装置实用新型授权CN202520974119.22025-05-16CN224203922U2026-05-05黄晓东、吴基锴、林伟群15烧结有散热板的功率放大器模块及射频电源实用新型授权CN202520974094.62025-05-16CN224356081U2026-06-12林伟群、章兵、李敏敏、张海强、郭世雨、胡一帆、黄国华、林桂浩16共模电感器、滤波电路及半导体工艺设备实用新型授权CN202520917900.62025-05-12CN224232456U2026-05-12杨佩铮、黄晓东17等离子体激发组件、电磁场产生装置及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890439.X2025-05-07CN224192118U2026-05-01范天赐、刘涛18气体输送组件及等离子体产生装置实用新型授权CN202520890014.92025-05-07CN224192116U2026-05-01范天赐、刘涛19等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520899792.42025-05-07CN224205298U2026-05-05范天赐、刘涛20远程等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520898482.02025-05-07CN224356326U2026-06-12范天赐、刘涛21等离子体产生装置及等离子体加工设备实用新型授权CN202520889478.82025-05-07CN224356325U2026-06-12范天赐、刘涛22出气装置和等离子体处理设备实用新型授权CN202520890194.02025-05-07CN224384247U2026-06-19范天赐、刘涛23离子源外观专利授权CN202530220855.42025-04-22CN309611196S2025-11-18杨靖、乐卫平24匹配器外观专利授权CN202530200095.02025-04-14CN309612116S2025-11-18戴和新、乐卫平25电压采样电路和电压采样装置实用新型授权CN202520604431.22025-04-01CN224203286U2026-05-05林伟群、郭启亮26一种电感及射频设备实用新型授权CN202520470396.X2025-03-17CN223898122U2026-02-10戴和新、林伟群27一种电感结构及电感线圈安装模具实用新型授权CN202520470388.52025-03-17CN223911506U2026-02-13吴基锴、林伟群28一种电感结构实用新型授权CN202520461387.42025-03-17CN223911515U2026-02-13杨靖、林伟群29一种射频匹配器实用新型授权CN202520463818.02025-03-17CN223912462U2026-02-13黄晓东、林伟群30一种电感结构实用新型授权CN202520465236.62025-03-17CN223911491U2026-02-13吴基锴、林伟群31射频电源外观专利授权CN202530115868.52025-03-12CN309529756S2025-10-03郑孟昌、乐卫平32滤波器外观专利授权CN202530083855.42025-02-25CN309530166S2025-10-03黄晓东、乐卫平33滤波器外观专利授权CN202530083847.X2025-02-25CN309530165S2025-10-03黄晓东、乐卫平34双频匹配器外观专利授权CN202530083845.02025-02-25CN309530164S2025-10-03黄晓东、乐卫平35射频电源外观专利授权CN202530050883.62025-01-24CN309530134S2025-10-03吴基锴、乐卫平36滤波器外观专利授权CN202530050861.X2025-01-24CN309530133S2025-10-03黄晓东、乐卫平37功率合成再分配发生器外观专利授权CN202530044831.82025-01-22CN309530126S2025-10-03杨靖、乐卫平38松不脱安装组件实用新型授权CN202520156074.82025-01-22CN223810010U2026-01-16杨靖、黄晓东39射频电路实用新型授权CN202520157802.72025-01-22CN223928310U2026-02-17林伟群、关广宁、黄磊新40一种射频电源的逆变电路及其本振信号调制电路实用新型授权CN202520140574.22025-01-21CN223785972U2026-01-09林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平41一种射频电源及其逆变器保护电路实用新型授权CN202520140249.62025-01-21CN224021633U2026-03-20林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平42一种逆变电路及信号调制电路实用新型授权CN202520140395.92025-01-21CN224021634U2026-03-20林桂浩、龚城、谢幸光、乐卫平43射频电源的调试方法和射频电源系统发明专利公布CN202510070014.92025-01-14CN122386177A2026-07-14唐亚海、林伟群、林桂浩、乐卫平44一种用于管道内壁的镀膜装置以及等离子体镀膜系统实用新型授权CN202423044917.X2024-12-09CN223481276U2025-10-28乐卫平、唐亚海、杨靖、刘涛45一种等离子体反应腔体的高压点火启辉装置及阻抗匹配器实用新型授权CN202423027145.92024-12-09CN223694047U2025-12-19林伟群、郭启亮、章兵46一种等离子体反应腔体的点火启辉装置及阻抗匹配器实用新型授权CN202423026797.02024-12-09CN223694046U2025-12-19林伟群、郭启亮、章兵47一种用于管道内壁的等离子体喷涂装置实用新型授权CN202423031888.32024-12-09CN223780331U2026-01-09乐卫平、林桂浩、吴基锴、刘涛48一种散热组件及等离子体电源结构发明专利实质审查的生效、公布CN202411798994.62024-12-09CN122180019A2026-06-09乐卫平、林伟群、黄晓东、刘涛49一种阻抗调整器的输出调节电路实用新型授权CN202422987888.42024-12-04CN223928291U2026-02-17杨佩铮、林伟群、毛元韬50数字化阻抗匹配电路和等离子体处理设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411617602.12024-11-13CN122052738A2026-05-15乐卫平、唐亚海、林伟群、谢幸光