市值破4000亿元国产刻蚀龙头，创始人持股不到0.7%

截至7月6日A股收盘，中微公司总市值已超4000亿元。

中微公司自带多个领先标签：是2019年科创板首批上市企业之一‌；2025年，人均销售额达450万元，劳动生产率是国际领先半导体设备公司的两倍以上；在国际最先进的芯片生产线上，中微公司的刻蚀机反应台累计超过800台；近期，中微公司收购杭州众硅，成为上交所专为‌优质上市公司并购重组‌设立的快速通道——科创板“并购重组简易审核程序”首家适用落地案例。

这一切，始于22年前——2004年，60岁的尹志尧博士放弃美国应用材料公司副总裁职位，回国投身中国半导体设备产业。这成为我国攻下被“卡脖子”的刻蚀机技术的起点。

微观“剪窗花”

芯片制造，是在人类发丝直径万分之一的微观尺度中，筑五六十层的楼。半导体设备，正是完成这种纳米级精密雕刻的核心工具。若将雕刻比作“剪窗花”，需要先用薄膜沉积设备“铺一层红纸”，后用光刻机“描出窗花轮廓”，再用刻蚀机“减去多余部分”。

芯片制造，是在人类发丝直径万分之一的微观尺度中，筑五六十层的楼。

全球数字经济产业（数码产业），是一个倒金字塔结构，从上至下，依次为应用层、电子系统层、芯片层及半导体设备层。2025年，全球半导体设备产值约1300亿美元，在数字经济体量中占比极小。但这一环节却极端重要，没有光刻、刻蚀、薄膜沉积这些高精尖的半导体微观加工设备，芯片制造无从谈起。

集成电路微观加工设备是数码产业真正的底座。

但这一市场壁垒重重。国际半导体产业协会（SEMI）数据显示，美国的泛林集团、应用材料、日本的东京电子、荷兰的阿斯麦，这4家公司合计占全球超过70%的市场份额。中国企业想在此领域实现追赶，不仅要有稳扎稳打的技术积累和创新，更需要系统性的战略战术。

尹志尧博士1978年考入北大化学系，1980年赴美深造，1984年获加州大学洛杉矶分校物理化学博士学位后进入硅谷，先后在英特尔、泛林集团、应用材料公司任职，深耕刻蚀设备领域，深度参与全球三大半导体设备公司的早期和中期发展，是全球公认的刻蚀技术权威。

2004年，受上海芯片产业奠基人江上舟邀请，尹志尧作出人生重大抉择：辞去应用材料公司副总裁职位，放弃海外优渥的一切，在上海创办中微公司，将余生交付给中国的半导体事业。

“净室”出硬核

归国之初，尹志尧博士就前瞻性地意识到专利风险，在公司内推行严苛的“净室”研发流程，要求每一位海外回国人员，不得带回任何技术资料和商业机密文件。

创立不到3年时间，中微公司就开发出拥有完全自主知识产权的“甚高频去耦合反应离子刻蚀”技术，以及具有双反应台但可单台操作的刻蚀反应器。2007年，中国大陆第一台高端CCP（电容耦合等离子体）介质刻蚀机问世。

这台设备在性能上实现两大突破——刻蚀的精准性和稳定性达1纳米水平；工作效率较同期海外友商的同类产品高出约30%。

此后3年内，国际厂商纷纷采用中微公司首创的“甚高频去耦合反应离子刻蚀”技术。而今，全球几乎100%的CCP刻蚀机均采用这一技术。但近20年来，国际同行始终都未能开发出双台反应器且可单台独立操作的设备。

木秀于林，风必摧之。中微公司快速发展时，两家竞争对手先后提起商业秘密和专利侵权诉讼。中微公司全力应诉，为此投入两年半时间，证明中微公司取得的所有成绩都干干净净。

迄今，面对海外企业发起的数次专利侵权诉讼，中微公司无一败诉。

中微公司。

“刻”后再扩圈

除了刻蚀设备，中微公司还攻克了MOCVD（金属有机化学气相沉积）设备等领域的海外垄断。

2010年前，MOCVD设备的全球市场被两家国际企业垄断。中微公司研判当时市场主流技术的优缺点，经技术创新和自主研发，最终攻克核心技术，迅速抢占市场。目前，中微公司的MOCVD设备在蓝绿光LED（发光二极管）设备市场的占有率已居全球第一。

中微公司MOCVD设备。

坚持技术创新、产品差异化，以及知识产权保护，这三大原则，镌刻在中微公司的基因里。截至今年第一季度，其全球专利累计申请达3353项，已获授权专利2105项，其中发明专利占比达80%以上。

刻蚀、薄膜沉积设备，如今已是中微公司的商业之基。但近期，中微公司收购杭州众硅64.49%股权，成为科创板“并购重组简易审核程序”首单，从4月24日获上交所受理，到5月11日获证监会注册批复，整体用时仅10个工作日。据悉，杭州众硅是国内稀缺的可量产12英寸高端CMP（化学机械抛光）设备企业。CMP属半导体前道湿法核心工艺，可与中微公司现有等离子体刻蚀、薄膜沉积等干法设备形成互补。这一手笔，透视着中微战略——今后5年，公司将通过“有机生长”模式，研发100多种新设备，同时借助“外延扩展”与并购手段，力争将高端设备覆盖率提升到至少60%，覆盖范围包括光学和电子束量检测设备、湿法设备等。

尹志尧博士最愿意将自己定位为“工程师”。在他看来，半导体设备研发是团队作战，不是一个人的事；核心技术的突破，是每一位员工努力的结果。因此，从上市时700多员工，到如今壮大至超过3000人，中微公司“全员持股”的股权激励机制从未变更。无论是经营管理人员、技术专家、普通员工还是初入职场的青年新锐，但凡是中微公司的正式员工，皆为股东。而尹志尧博士持有的股份占公司总股本比例不到0.7%。

中微公司20周年盛会，尹志尧博士担任《中微之歌》指挥。

当年，不带走一张图纸、不存下一份文件的中微公司，却刻出中国工程师逐梦半导体设备自立自强的精神底色，亦雕出中国半导体设备最陡峭的增长曲线。

原标题：《市值破4000亿元国产刻蚀龙头，创始人持股不到0.7%》