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国家知识产权局信息显示，厦门东微电子装备有限公司取得一项名为“一种用于立式炉的防倒灌尾气处理装置”的专利，授权公告号CN224462496U，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种用于立式炉的防倒灌尾气处理装置，包括罐体，所述罐体顶部设有进气口，底部设有出气口和排液口；进气管道，所述进气管道与所述进气口连接，且所述进气管道倾斜向下设置；A单向阀，设置于所述进气管道上；B单向阀，设置于所述出气口处。本实用新型有效解决现有技术中单一防倒灌结构可靠性低、无法兼顾正压反冲与负压倒灌防护的双向压力适应需求的问题，显著提升尾气处理装置在高温腐蚀性工况下的运行稳定性和安全性，保障立式炉工艺环境的洁净度与晶圆加工良率。
天眼查资料显示，厦门东微电子装备有限公司，成立于2024年，位于厦门市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，厦门东微电子装备有限公司参与招投标项目1次，专利信息6条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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