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华力申请曝光程式中特殊字符检测方法专利,确保批次运行数据正常生成

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国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“曝光程式中特殊字符的检测方法、系统、设备及介质”的专利,公开号CN122331210A,申请日期为2026年3月。

专利摘要显示,本发明提供一种曝光程式中特殊字符的检测方法、系统、设备及介质。该方法包括:在将曝光程式数据上传至配方管理系统时,判断曝光程式数据中是否存在预设标识符号,预设标识符号为特殊字符经数据转换后呈现的唯一固定表现形式;当判断存在预设标识符号时,输出预警信息,并阻止曝光程式数据生效;当判断不存在时,使曝光程式数据生效;在晶圆进行批次跑货前,通过设备自动化程序读取曝光程式数据,当判断存在预设标识符号时,拦截晶圆上机台进行批次跑货。本发明通过双重拦截机制,准确检出异常字符并预警修正,确保批次运行数据正常生成,提高生产效率并保障产品品质安全。

天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2089次,专利信息2805条,此外企业还拥有行政许可544个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员

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