北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“包括微波加热器的负载锁定装置及衬底处理设备”的专利，公开号CN122249013A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本公开涉及负载锁定装置和包括该负载锁定装置的衬底处理设备。负载锁定装置包括限定负载锁定室的负载锁定室主体、用于将一个或多个衬底保持在负载锁定室中的衬底保持器以及用于从一个或多个衬底解吸所吸附的湿气的微波加热器。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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