北京
国家知识产权局信息显示，超微半导体设备（上海）有限公司申请一项名为“一种电子光学系统和带电粒子束装置”的专利，公开号CN122224738A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种电子光学系统和带电粒子束装置，该电子光学系统包含：第一透镜，其用于调节主电子束到达样品的数值孔径，所述主电子束到达样品后产生信号电子束；可调节透镜组件，其位于第一透镜和物镜之间，其用于汇聚或扩展所述信号电子束，以调节信号电子束的传输路径；探测器组件，位于可调节透镜组件的上方，其用于采集所述信号电子束；其中，所述电子光学系统具有光轴，所述第一透镜、所述可调节透镜组件和所述探测器组件均与所述光轴同轴设置。其优点是：该电子光学系统将第一透镜、可调节透镜组件和探测器组件相结合，通过可调节透镜组件对信号电子束进行束流控制，无需额外设置维恩滤波器等结构，可避免样品上的主电子束发生诱导色散。
天眼查资料显示，超微半导体设备（上海）有限公司，成立于2024年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16000万人民币。通过天眼查大数据分析，超微半导体设备（上海）有限公司财产线索方面有商标信息7条，专利信息3条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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