北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“衬底处理设备”的专利，公开号CN122069958A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，提出了一种具有压载气体功能的衬底处理设备。根据本公开的衬底处理设备包括限定用于处理衬底的处理空间的室壁、配置为使气体离开处理空间的排气端口、以预定长度从排气端口设置的排气管线，其配置成加速来自衬底处理设备的气体、设置在排气管线中用于控制气体的排出流的节流阀以及流体连接到排气管线并且配置为将压载气体注入到排气管线的压载单元。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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