复旦教授直言：国产光刻机与国外差近 20 年，但突围路线已清晰

光刻机话题再次升温，讨论往往分成两派：一派觉得“国产马上起飞”，另一派担心“差距依然很大”。国产光刻机到底算不算突破。如果说不行，它又确实在最关键的供应链环节上实现了绕开封锁的一大步；如果说行，把它放到ASML顶尖机型面前，又能看出明显代差。

判断的起点要先承认差距。复旦大学沈逸教授在访谈里把话说得很直接：国产光刻机整体仍以干式技术为主，与ASML相比，大体接近其十年甚至二十年前的水平。这个结论听起来刺耳，但重点不在“落后”，而在后半句——设备是在“非美工艺与产业生态”条件下做出来并且能跑起来，这本身就意味着难度很高。

光刻机极端精度背后是系统工程。是材料、光学、精密控制、软件算法、制造工艺、长期经验沉淀以及供应链协作的“全套能力”。任何一环出现短板，整机性能就会被拖住。

ASML看似是荷兰公司独大，但它的零部件大约九成来自荷兰以外：例如美国光源、德国蔡司光学模组等都在系统内。ASML的强，背后是西方工业体系高度协作的强。中国的路线则更偏向于在封锁条件下重新组织供应链：尽可能绕开美国技术与管制影响，搭建能自我运转的链条。

全球芯片需求中，成熟制程占比很高；汽车电子、工业控制等领域大量需求集中在28nm及以上。家电控制、工厂PLC、充电桩、医疗设备、轨道交通等系统，都依赖这些看上去“不先进”但供应量巨大、稳定性要求极高的芯片。国产干式光刻机如果能把这段区间的供给稳定下来，其战略意义就在于把关键“底盘能力”握得更牢。

沈逸教授提到“更像是给荷兰政府和ASML看的”，可以理解为先把能量产、可保供的成熟设备铺开，让对方看到“门真要关死，也未必能达到预期效果”。同时也在传递另一层信息——更先进方向仍在推进，产业格局并非永远固定；对手需要去计算经济账与风险账，而不是只靠封锁就能把问题定格。

产业层面近两年确实出现加速迹象。上海微电子传出首台28nm浸没式光刻机交付并进入产线验证的消息，这意味着从干式向浸没式跨过了关键门槛；与此同时，90nm DUV设备的国产化与量产更趋稳定。这些进展至少说明路线在向前推进，剩下的更多是长期的工程投入与持续迭代。

配套能力的补齐同样关键。物镜、激光器、双工件台等关键子系统，已有企业在开展国产替代。光刻机最怕的情况是“整机装出来了，但关键件卡在别人仓库里”，导致交付与维保都受制于人。现在更常见的打法是把整机与关键子系统一起推进，晶圆厂、设备厂、材料厂进行协同，把产业链当作一个团队来打。

美国近年不断升级出口管制，从EUV到DUV审批，再把维保服务、零部件供应也纳入限制讨论；2026年4月又出现MATCH法案相关动向，目标指向荷兰、日本的先进设备对华出口。这种打法的核心，是尽量阻断可持续运转能力：不仅不让买新设备，还要限制维修与关键耗材，试图让既有产线“越用越难”。

但国产化比例从2021年约21%提升到2024年突破40%，速度并不慢。过去不少企业不愿选用国产设备，主要顾虑是稳定性与产线风险；当外部供应变得不确定，决策逻辑就会变化——既然进口也可能不稳，那么更愿意投入资源去陪国产设备一起迭代，把短期不完美换成长期可控。

从商业角度看，ASML也并非完全不受影响：中国区销售占比波动、市场预期变化，最终会反映在订单与利润表上；对企业来说，失去大市场是实打实的财务问题。对国家来说，守住产业链自主可控更接近安全底线问题。双方都在算账，区别在于谁更能承受时间，谁更能把短板逐渐变成可持续能力。

更务实的建议是：少一点“神话式胜利”，多一点“工程化耐心”。科研与产业不是短视频，不会三分钟反转；也不适宜用非黑即白的情绪去评价。企业需要把“可用”推进到“好用”，把“能交付”推进到“可规模化交付”；社会层面则需要为长期投入留出空间，也为试错与迭代保留合理的容错环境。

光刻机这束光，照见的不只是芯片能力，更是复杂系统在压力下能否被做出来、跑起来并且长期养起来。差距存在并不可怕，真正危险的是回避差距。能够在被卡脖子时稳住底盘、守住供应并持续迭代的进步，看起来慢，但足够硬，也往往更让对手难以安心。真正能把竞争拉向终局的，从来不是声音最大的人，而是持续把难题一件件做成日常的人。