北京
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国家知识产权局信息显示，陕西华远成信科技贸易有限公司申请一项名为“基于压力调控的晶圆抛光处理系统”的专利，公开号CN121821230A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种基于压力调控的晶圆抛光处理系统，包括：分区压力调控模块、微扰动激励注入模块、界面流变状态解析模块及动态迟滞逆变控制模块，该系统利用微扰动信号诱发接触界面微观力学响应，实时解算动态粘弹性模量，并据此构建逆动力学模型以生成针对粘弹滞后效应的超前补偿分量，本发明通过主动对冲抛光垫在高速压力切换下的应变率硬化与滞后特性，有效抑制瞬态弹道过冲现象，解决因压力响应错位导致的过抛与缺陷问题，提升先进制程下的晶圆平坦化质量。
天眼查资料显示，陕西华远成信科技贸易有限公司，成立于2021年，位于西安市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析，陕西华远成信科技贸易有限公司专利信息1条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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