国家知识产权局信息显示,中科光智(重庆)科技有限公司申请一项名为“一种RPS源微波等离子电离腔结构及等离子清洗机”的专利,公开号CN121751461A,申请日期为2026年2月。
专利摘要显示,本发明提供了一种RPS源微波等离子电离腔结构及等离子清洗机,包括电离室,内部具有中空的电离腔,电离室的顶部设置有第一进气孔;分散头,与第一进气孔相连接,分散头相对于第一进气孔的端面部分设置有多个环形引导孔,各个环形引导孔以第一进气孔的孔心为原点呈波状向外辐射式设置,用于分散通过第一进气孔进入电离腔内的气流;本发明通过在电离腔中安装具有多个呈波状向外辐射式设置的环形引导孔的分散头,使得微波和工艺气体能够按区域分散通过分散头进入电离腔中,通入的气流能够稳定均匀地进入腔室内部,并能够快速集中地将微波能量聚焦于设定的电离区域,形成高浓度气体氛围,有效提高气体的电离效率,进而保证高等离子体密度的清洗。
天眼查资料显示,中科光智(重庆)科技有限公司,成立于2022年,位于重庆市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1078.125万人民币。通过天眼查大数据分析,中科光智(重庆)科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目21次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息104条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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