韵申科技：深耕电子级多晶硅核心装备，国内市占率稳居行业前列

近日,上海韵申新能源科技有限公司(以下简称“韵申科技”或“公司”)正式签约入驻企知道科创空间。作为泛半导体关键高纯原材料解决方案提供商,韵申科技深耕“半导体+新能源”领域,致力于打造以硅材料为核心的一站式生产解决方案矩阵,现已成为我国泛半导体材料设备行业发展的核心推动者之一。2024、2025年,公司的主导产品——电子级多晶硅反应炉在国内市场的占有率分别为56.61%和63.09%,稳居行业前列。该产品在行业技术体系中占据关键地位,为我国高纯半导体材料规模化生产提供了核心装备支撑。

聚力关键工艺装备创新,夯实集成电路材料基础

韵申科技成立于2012年,总部及研发中心坐落于上海,凭借雄厚的技术研发实力,获评国家高新技术企业、上海市科技小巨人企业、上海市专精特新企业。专注泛半导体硅基材料工艺设备的研发及制造,致力于提供半导体材料技术一站式解决方案。韵申科技以半导体硅材料为基础,协同发展硅基电子特气、高纯电子化学品、锂电新材料等业务,并积极布局第三代、第四代化合物半导体。产品服务于新能源与半导体两大市场,覆盖半导体衬底材料生长设备、电子特气与前驱体工艺系统、锂电新材料装备、电子化学品系统等多个方向。

自成立以来,韵申科技始终将技术研发作为企业发展的核心战略,组建了一支由50余人组成的高水平研发团队。核心技术人员均毕业或曾就职于中国科学院、上海交通大学、浙江大学、华东理工大学等国内顶尖科研院校与机构,在硅材料制备与半导体装备工艺领域平均拥有15年以上行业研发经验。研发团队专业覆盖化学工程、材料工程、机械设计、焊接工程、电气自动化控制等多个技术领域,形成了多学科协同创新的强大合力。

韵申科技生产基地坐落于江苏镇江,布局完善、产能雄厚:洁净制造基地占地50亩,成套装备基地占地60亩;其中高标准洁净工程制造核心区域涵盖百级、千级、万级、十万级、三十万级全等级洁净厂房,配套规模化普通不锈钢产品加工区,同时配备18MΩ超纯水制备及蒸汽清洗系统,硬件配置行业领先。

公司资质与认证体系完备,具备D类压力容器、GC2压力管道设计、制造、安装资质及机电总承包二级资质,建立全流程质量检测验证体系,产品已通过SEMI标准S2认证及钢瓶UN安全认证,为高端、高品质制造筑牢可靠的硬件支撑与体系保障。

依托完善的工业支持体系与产业链协同优势,叠加深厚技术积淀,公司累计拥有专利 68项(其中发明专利13项)、软件著作权10项,构建起完善的自主知识产权体系;可高效整合技术资源,实现从核心部件到整机系统的集成创新,逐步打造覆盖多产品线的半导体材料工艺设备研发、生产与一站式服务能力。

创新驱动发展,构建半导体关键装备护城河

在核心技术装备领域,韵申科技的主导产品——电子级多晶硅反应炉,已达到行业先进标准,是实现高纯多晶硅规模化生产的关键装备。

电子级多晶硅反应炉(通常指改良西门子法或硅烷法的核心反应器),是制备超高纯多晶硅的基础装备。该设备通过在高温、密闭且可精确控制的环境中,使硅烷或三氯氢硅等前驱体气体发生化学气相沉积与还原反应,生成高纯多晶硅棒材料。反应炉内部的热场均匀性、气流场稳定性、温度控制精度、材料洁净度及运行可靠性,直接决定了产品纯度等级、晶体结构稳定性、能耗水平及制造成本。可以说,缺乏先进且稳定可控的反应炉系统,就难以实现满足先进制程要求的电子级多晶硅规模化生产。

从全球产业格局来看,高端电子级多晶硅核心反应炉技术及配套工艺体系长期被少数国外企业垄断,德国瓦克(Wacker)、日本信越(Shin-Etsu)、美国Hemlock等企业形成了较高的技术壁垒。这种技术集中的格局,导致我国在高端半导体硅材料装备领域存在外部依赖风险,制约了集成电路产业链的安全与自主发展。

为此,韵申科技聚焦电子级还原炉(西门子法)开展集中技术攻关,持续突破高端半导体基础材料装备关键环节。公司遵循“战略需求牵引、关键技术攻关、系统集成验证、迭代优化定型”的研发路径,系统推进装备结构设计优化、核心工艺匹配及工程化运行验证,实现了从装备设计到稳定量产的全流程技术突破,显著提升了核心装备自主可控能力,为我国集成电路产业供应链安全提供了关键技术支撑。

携手企知道,共推电子级多晶硅装备产业化升级

近年来,随着国家对半导体基础材料及新能源产业的需求持续提升,韵申科技依托不断强化的技术创新能力与市场应用能力,实现经营规模稳步增长,近三年累计营业收入超8.8亿元。公司产品长期稳定供应鑫华半导体、通威集团、大全新能源、天宏、丽豪半导体等国内半导体材料及新能源材料龙头企业,市场竞争力与产业服务能力持续提升。

为进一步提升市场竞争力,拓宽发展空间,韵申科技式签约进驻企知道科创空间。科创空间是企知道科技有限公司推出的大数据科创管理平台,此次合作,韵申科技将借助全球专利、期刊及标准数据库,高效获取并解析技术要点,提升研发创新效率和成果转化水平;此外,通过产业链图谱、招投标、海关数据等智能拓客工具,公司可精准链接医疗器械产业链上下游的优质供应和潜在客户,高效挖掘商机,拓宽市场渠道。

面向制造业数字化与智能化发展趋势,韵申科技将持续聚焦泛半导体高端装备与关键材料技术领域,加大核心技术研发投入,积极推进工艺数字化与模块化系统集成,致力于为智能化工厂建设提供支持,助力产业实现高效可持续的转型升级,为我国半导体产业自主可控与高质量发展提供更加坚实的技术与产业支撑。