国家知识产权局信息显示,北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“晶圆物料盒和晶圆物料盒支撑架”的专利,公开号CN121665992A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体制造技术领域,提供一种晶圆物料盒和晶圆物料盒支撑架。晶圆物料盒包括主体框架和门板组件,主体框架内部设有容纳腔,容纳腔用于容纳晶圆,主体框架设有连通容纳腔的敞口;门板组件安装于主体框架并盖设于敞口,门板组件包括多个遮挡板,多个遮挡板沿门板组件的高度方向设置,每个遮挡板可沿门板组件的高度方向滑动形成连通容纳腔的开口,开口用于存取晶圆。根据本申请实施例的晶圆物料盒,通过设置由多个可独立滑动的遮挡板构成的门板组件,无需整体开启密封门,仅通过抬升目标晶圆对应的单个或少数遮挡板形成局部开口,极大地减少了存取过程中惰性气体的逸散量和速度,有效维持了物料盒内部腔体的正压与低氧浓度。
天眼查资料显示,北京京仪自动化装备技术股份有限公司,成立于2016年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16800万人民币。通过天眼查大数据分析,北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目103次,财产线索方面有商标信息21条,专利信息552条,此外企业还拥有行政许可12个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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