北京
国家知识产权局信息显示，福建省福联集成电路有限公司申请一项名为“一种长距离跨度空气桥制程方法”的专利，公开号CN121620191A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明涉及一种长距离跨度空气桥制程方法，所述制程方法包括在衬底材料上沉积第一光阻层，并进行曝光/显影，采用湿法蚀刻衬底材料，在衬底材料上形成第一台面，去除第一光阻层；按照同样操作，继续涂布第二光阻层至第n台面；在第n台面的外侧涂布第n+1光阻层，并进行曝光/显影，再进行金属蒸镀，将第n台面外侧的金属及第n+1光阻层去除，完成空气桥金属沉积；涂布第n+2光阻层，进行曝光/显影，将空气桥下方垂直方向上的衬底材料蚀刻完全，再将第n+2光阻层去除，完成空气桥制程。本发明能够改善因长距离跨导光阻形变的问题，实现了长距离跨度的空气桥结构。
天眼查资料显示，福建省福联集成电路有限公司，成立于2015年，位于莆田市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本101618.539917万人民币。通过天眼查大数据分析，福建省福联集成电路有限公司参与招投标项目333次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息188条，此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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