北京
国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司取得一项名为“分气结构及半导体设备”的专利，授权公告号CN223963567U，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，一种分气结构及半导体设备，分气结构用于与半导体设备的腔室连通，包括堆叠的上分气模块和下分气模块；上分气模块包括位于上分气模块中的不同位置处且相互隔离的多个第一输送管路；下分气模块包括贯穿下分气模块的主输送管路，主输送管路的输入端与各第一输送管路均连通，主输送管路的输出端用于与半导体设备的腔室连通。由于多个第一输送管路相互隔离，在通过各第一输送管路向半导体设备的腔室提供不同类型的气体过程中，降低了不同类型的气体在第一输送管路中接触并反应的概率，从而降低了分气结构的内壁因化学反应而受到损伤的概率，也减少了因化学反应而残留在晶圆表面的颗粒数量，进而提高了半导体工艺处理的质量以及分气结构的使用寿命。
天眼查资料显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息552条，此外企业还拥有行政许可125个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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