北京
分享至
国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“示教用夹具、定位方法以及基板处理装置”的专利，公开号CN121604774A，申请日期为2025年5月。
专利摘要显示，本发明提供一种在利用等离子体的基板处理装置中能够使基板准确位于静电卡盘的中心位置的示教用夹具、定位方法以及基板处理装置。用于在根据本发明的利用等离子体的基板处理装置中确定基板移送位置的示教用夹具包括：下环，具有与在支承所述基板的静电卡盘的外侧形成的绝缘部件对应的形状；多个支承柱，从所述下环向上方延伸；上环，被所述支承柱支承且具有与所述下环相同的形状；多个透光模组，设置于所述上环且构成为向下方照射光；多个受光模组，位于所述透光模组的下方且构成为从所述透光模组接收光；以及多个紧固部件，从所述下环插入到形成于所述绝缘部件的紧固孔中。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
