北京
国家知识产权局信息显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“一种电极组件、静电吸盘及半导体处理装置”的专利，公开号CN121604779A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本发明提供了一种电极组件、静电吸盘及半导体处理装置，其中所述电极组件包括：至少两层第一电极；每层所述第一电极为沿所述静电吸盘径向盘绕形成的第一平面螺旋线圈；相邻两层的所述第一电极之间通过连接点电连接；馈入点，其设置在顶层或底层的第一电极上，用于馈入射频电流，且流经每层所述第一平面螺旋线圈的射频电流方向相同。本发明通过将静电吸盘内的电极组件设置为相互层叠设置的具有平面螺旋线圈结构的第一电极，并且交替使用内端点连接内端点和外端点连接外端点的连接方式，增加了电极组件的电感特性，实现射频屏蔽作用，进而阻挡了射频源对直流源的损坏。
天眼查资料显示，中微半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2004年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本62614.5307万人民币。通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目76次，财产线索方面有商标信息76条，专利信息1642条，此外企业还拥有行政许可77个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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