北京
国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种等离子体刻蚀机及其介质窗温控装置与控制方法”的专利，公开号CN121460467A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，本申请公开了一种等离子体刻蚀机及其介质窗温控装置与控制方法，涉及等离子体刻蚀机的温控设备技术领域，等离子体刻蚀机具有用于对目标物体进行等离子体刻蚀的刻蚀腔体，刻蚀腔体顶部包括介质窗；介质窗温控装置包括：侧壁，侧壁固定在刻蚀腔体顶部的周缘上方；顶盖，顶盖固定在侧壁的上方，与侧壁形成温控腔体；风扇，风扇固定在顶盖内侧表面的四周；冷气供给设备，冷气供给设备通过设置在顶盖中心区域的冷气窗口为温控腔体内通入低温气体；其中，介质窗温控装置能够基于介质窗的温度参数，控制风扇与冷气供给设备的工作参数，以调节介质窗的不同区域的温度。本申请可以使得介质窗不同区域的温度具有较好的均匀性。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本19584.6238万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目260次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息482条，此外企业还拥有行政许可14个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
