北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“衬底高度测量”的专利，公开号CN121464315A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，一种衬底高度测量设备，包括：悬臂，该悬臂从主体延伸并具有设置在远端的大致球形的尖部，其中大致球形的尖部和悬臂具有导电涂层；调制系统，被配置为对衬底台应用周期性位置调制；电压源，被配置为向悬臂和大致球形的尖部施加DC电压和周期性电压调制；干涉测量检测系统，被配置为在应用位置调制和电压调制的同时测量悬臂的运动；锁定检测系统，被配置为从干涉测量检测系统接收信号，并提供指示作用于悬臂上的流体动力的输出信号和指示作用于悬臂上的静电力的输出信号；以及处理器，被配置为基于输出信号提供衬底高度测量结果。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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