北京
国家知识产权局信息显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司申请一项名为“等离子体设备”的专利，公开号CN121463315A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本公开提供一种等离子体设备，涉及半导体设备领域。等离子体设备包括：介质筒，用于围成等离子体生成空间；电感线圈，位于介质筒的外侧；箱体，位于介质筒的下方，用于围成工件表面处理空间；箱体的顶部具有箱体开口；盖板，盖设于箱体开口处，且与箱体密封配合；盖板还通过密封圈与介质筒密封配合；其中，盖板设置有第一入口、第一通道及第一出口，第一通道沿盖板的周向延伸，第一通道分别与第一入口、第一出口连通，第一出口位于第一入口朝向箱体的中轴线的内侧；第一出口具有多个，至少两个第一出口沿盖板的周向均匀分布；第一入口用于供冷却气体进入，第一通道用于将冷却气体引导至第一出口，第一出口用于引导冷却气体流向介质筒的外侧壁。
天眼查资料显示，北京屹唐半导体科技股份有限公司，成立于2015年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本295556万人民币。通过天眼查大数据分析，北京屹唐半导体科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目180次，财产线索方面有商标信息25条，专利信息250条，此外企业还拥有行政许可90个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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