国家知识产权局信息显示,深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“加热盘及其制造方法、温控装置、半导体制造设备”的专利,公开号CN121463744A,申请日期为2024年8月。
专利摘要显示,本申请提供一种加热盘及其制造方法、温控装置、半导体制造设备,涉及半导体处理技术领域。加热盘包括加热主体,加热主体包括基体、加热层、封装层及若干焊球;基体包括相背的第一面和第二面,加热层通过半导体制造工艺形成于基体的第二面,封装层形成于加热层背离基体的一侧,若干焊球连接于封装层背离加热层的一侧,封装层电连接加热层和若干焊球。本申请提供的加热盘的制造工艺简单、制造成本低,且可设计的温控区的数量较多,温控效果好。
天眼查资料显示,深圳市新凯来工业机器有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目18次,财产线索方面有商标信息22条,专利信息209条,此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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