吉林
明明是自己人，却最擅长对自己人“开枪”？
一生都围绕着台湾、美国，面对大陆的邀请函，丝毫不给面子的他却是光刻机领域的前排专家。
“把大陆逼到最后，半导体界或出现DeepSeek。”
2025年4月的一场戏谑，却是拉开了这个浸润光刻之父林本坚的序幕。他到底什么来头？明明是华裔又是顶尖的行业专家，怎么就对大陆充满“敌意”？
要说林本坚的态度，还得从父母辈说起。
林本坚父母是从广东潮汕前往越南躲避战乱的难民，于1942年诞下这位日后改变光刻技术的科研专家。
在林本坚出生几年后，他的父母带他回到当时较为安全的台湾，之后林本坚在台湾上学读书，最终以优异的成绩考上台湾大学电机工程专业。
1963年，林本坚获得台湾大学电机工程学系学士学位。
当时年仅21岁的林本坚年轻但不气盛，反而拥有常人所没有的沉稳，1963年的大学生还是很吃香的，但他将目光投向了当时风头无两的美国。
毕竟那时候的美国是世界上最强大的国家，他准备向这样一个国家启航，势要使自己变得更加强大。
功夫不负有心人，林本坚自身的优异，再加上他加倍的刻苦努力，最后在1970年获得美国俄亥俄州立大学电机工程学博士学位。当时他也才28岁。
前途光明，加上本人又好学，紧跟着在毕业那年他进入IBM公司的沃森研发中心，开启在光刻技术领域的钻研。
从此开启了他的征程，也正式打开了属于“浸润光刻之父”的路。
而若说这林本坚到底怎么厉害，还得先说他33岁时的成就。
33岁时，林本坚做出当时光刻领域最短波长的光线，命名为深紫外线。
而后他继续深耕钻研，直到1986年，他凭借常年钻研的敏锐意识，察觉到传统的微影技术就要走到尽头，加上平面集成电路被持续使用了几十年，但受到基本光学衍射影响，该技术在特征尺寸小于65纳米的芯片时遇到了无法突破的瓶颈。‘
也是此时，林本坚清楚如果他再这么埋头研究下去，无疑会把自己带进死胡同。
于是林本坚转头开始研究新的光刻技术。
经过苦心研究，他最终开拓出浸润式微影技术，改变了集成集成电路的制程，把半导体芯片的特征尺寸持续缩减到细微纳米量级。
听起来微乎其微，但林本坚这个想法在彼时确实称得上超前。
新的光刻技术起源于一个大胆的想法，和传统技术不同，林本坚通过液体作为介质；来突破传统干式光刻技术的分辨率瓶颈。
当然，不是什么液体都能充当物镜和晶圆之间的介质环境，林本坚提出这种想法后开始付诸行动。
最初使用的实验液体介质是环辛烷，但当时对进入液的充入控制、镜头沾污、光刻胶稳定性等关键问题缺乏解决经验，因此没有大规模进行使用。
最终经过实验，他得出结论，液体介质的均匀性和纯度需要进行严格控制，否则晶圆表面会产生缺陷；还要解决液体与光刻胶、抗反射涂层的兼容性问题，否则这种技术永远也无法投入使用。
林本坚预感自己实验出的是光刻界的未来，他怀着一颗激动的心宣布这项创新技术。
大胆的想法，超前的操作，林本坚直觉这定然是技术界新的解困之法，但现实给他泼了一盆冷水，人们不敢用这项大胆的又不算成熟的技术。
既然无人用，那林本坚也开始另寻出路，既然自己这匹千里马无人赏识，那自己便做自己的伯乐。
当时的林本坚从IBM公司提前退休后，下定决心创办了自己的公司Linnovation，又在2000年，他受到台积电蒋尚义的邀请，于是回到老家加入台积电公司。
仅仅两年后就在2002年，他又研究出以水为介质的，用波长为193纳米的紫外光进行浸润式光刻，并在一个光刻研讨会上受邀发言时提及，之后更是奔走各地说服厂商们进行研发。
荷兰的ASML公司敏锐察觉到这条看似危险的小道尽头实际潜藏着巨大的宝藏，于是毅然踏上这条路。
ASML礼貌敲响林本坚的家门，也是从这一年开始，ASML突破日本尼康和佳能的垄断，走上了高端光刻机这条路。
而时至今日，“湿式”光刻主流使用的依旧是林本坚的技术，而浸润式微影技术终于迎来了他的时代。
可以说，林本坚的一生，在越南出生，台湾长大，美国求学，青壮年时期把汗水和努力挥洒在美国，少年时期的坚韧和年老时的睿智给了台湾，可想而知台湾是他的第一个家，美国是第二个港湾，他几乎把自己所有的情感都挥洒在了这两片土地上。
而对中国内陆，他的接触并不多，更谈不上有什么深厚的感情在。
甚至相较于对大陆的感情，他更关心的是大陆的技术。
而林本坚对中国内陆并非是漠视的，他更像是一个旁观的理中客，默默的注视。并且一针见血地指出内陆在光刻机方面的发展并不缺人才和市场，而是缺少了最重要的一环，那就是能耐得住性子不怕试错的系统性环境。
他认为紧赶慢赶的搞技术研究，不如稳扎稳打的去走最稳妥的路径。
也正如他预料的那样，在众多国家的封锁下，中国的光刻技术寸步难行。
2025年4月的采访中，林本坚与蒋尚义相邻而坐，谈起内陆EUV和先进制程芯片时，林本坚面色严肃认真。
“说不定大陆那边想出一些东西，会把我们做3纳米、2纳米的辛苦完全去掉，不需要那么辛苦，但是可以做出同样功能的东西......这样的话，我们这边会非常麻烦，因为它价钱又低，市场又大......”
“把大陆逼到最后，半导体界可能出现和DeepSeek一样的东西，让大家都完全吓到。”
林本坚话语中的我们把内陆区分开来，最终对内陆势如破竹的发展芯片表达了担忧。
最终，林本坚作为“浸润式光刻之父”有着一套独属于他的理论和见解，时隔多年，他的发言依旧有着极高的敏锐。
也许有一天，真的会如他所说，中国真的会造出半导体界的“DeepSeek”，然后把大家都吓到呢？
参考资料： 浸润光刻之父林本坚：再逼中国大陆 完全可能诞生半导体界DeepSeek——快科技
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