国家知识产权局信息显示,合肥晶合集成电路股份有限公司申请一项名为“半导体器件的制备方法”的专利,公开号CN121442731A,申请日期为2025年12月。
专利摘要显示,本申请提供了一种半导体器件的制备方法,属于半导体技术领域,包括:提供衬底,衬底上形成有栅极结构;刻蚀栅极结构两侧的衬底,以在衬底内形成源漏凹槽;在源漏凹槽内形成缓冲层,缓冲层覆盖源漏凹槽的内壁,缓冲层的至少部分表面上具有第一副产物层;至少在第一副产物层上形成第一吸附层,第一吸附层用于吸附第一副产物层内聚集的掺杂离子;至少去除第一吸附层;在源漏凹槽内形成籽晶层,籽晶层填充源漏凹槽。本申请在第一副产物层上形成第一吸附层,第一吸附层能够吸附第一副产物层内聚集的掺杂离子,去除第一吸附层,从而可以减轻或避免后续退火时第一副产物层内的掺杂离子扩散,导致器件运行过程中发生漏电的问题,提升了器件的性能。
天眼查资料显示,合肥晶合集成电路股份有限公司,成立于2015年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200759.1697万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目636次,财产线索方面有商标信息41条,专利信息1607条,此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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