北京
国家知识产权局信息显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海）有限公司申请一项名为“一种磷酸加热器”的专利，公开号CN121442515A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种磷酸加热器，应用于半导体器件制备领域，包括：导热部件，导热部件的第一表面用于工作时靠向晶圆布设，导热部件的第二表面沿指向外侧的方向，依次设置加热层、固定层、隔热层、散热层；加热层、固定层、隔热层、散热层中均设置有供清洗液输送管道通过的开孔；加热层与导热部件对应设置，固定层用于固定隔热层；导热部件的第二表面形成有对应于加热层的内圈轮廓和外圈轮廓的内圈槽和外圈槽，且内圈槽内和外圈槽内均封装有加热部件，以在加热层工作时，对导热部件对应于加热层的内圈轮廓和外圈轮廓处，进行温度补偿。本发明利用加热部件，对导热部件对应于加热层的内圈轮廓和外圈轮廓处施加温度补偿，避免加热层边缘处掉温。
天眼查资料显示，上海至纯洁净系统科技股份有限公司，成立于2000年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本38671.777万人民币。通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了45家企业，参与招投标项目77次，财产线索方面有商标信息72条，专利信息335条，此外企业还拥有行政许可45个。
至微半导体(上海）有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本53144万人民币。通过天眼查大数据分析，至微半导体(上海）有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目33次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息298条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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