北京
国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“半导体设备供液系统”的专利，公开号CN121386301A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本发明提供了一种半导体设备供液系统，包括胶瓶、供气管路、药液缓存瓶以及药液驱动装置，药液缓存瓶通过单一连接管路与所述胶瓶连通，连接管路上设置有第一通断阀以及出液传感器，药液缓存瓶包括至少两个腔室，每个腔室均与药液缓存瓶的进液端连通，每个腔室均具有出液端，出液端均连接有供胶管路，供胶管路用于与工艺端连接，药液驱动装置设置于供胶管路上，用于从所述出液端抽取液体供应到工艺端。该半导体设备供液系统减少了通断阀、传感器元器件的使用数量和系统占用空间，控制逻辑更为简单、可靠，而且从物理上消除了产生憋压和回流的条件，提高了系统运行的稳定性和可靠性。
天眼查资料显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年，位于沈阳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20162.7296万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目329次，财产线索方面有商标信息32条，专利信息651条，此外企业还拥有行政许可67个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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