国家知识产权局信息显示,盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司申请一项名为“用于工艺腔室的旋转供水装置、供水系统及气相沉积设备”的专利,公开号CN121344544A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本申请属于半导体设备技术领域,公开一种用于工艺腔室的旋转供水装置、供水系统及气相沉积设备,供水装置包括:机架,包括底盘、中间筒和上盖,上盖上端安装有旋转电机,底盘用于安装在工艺腔室上端,中间筒与旋转轴之间的空间形成水流通道,在中间筒的侧壁上具有第一入水孔,底盘中心具有与工艺腔室连通的第一出水孔;旋转电机,其输出轴与旋转轴同轴连接;旋转轴,穿过中间筒从第一出水孔穿出,其下端与工艺腔室内的磁体组件连接,在第一出水孔与旋转轴之间构成出水通道。本申请直接用旋转电机给磁体组件提供旋转动力,在机架和旋转轴之间的空间内进行冷却水输送,减少了中间传递动力部件,设备成本投入低、占用空间小、设备振动小。
天眼查资料显示,盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司,成立于2018年,位于宁波市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12463.7965万美元。通过天眼查大数据分析,盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司共对外投资了10家企业,参与招投标项目50次,财产线索方面有商标信息58条,专利信息245条,此外企业还拥有行政许可13个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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