国家知识产权局信息显示,拓荆科技(上海)有限公司申请一项名为“流阻调整机构、分气装置及方法和半导体器件的加工设备”的专利,公开号CN121346100A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种流阻调整机构、分气装置、分气方法和半导体器件的加工设备。该流阻调整机构包括:第一管路,其管路内的横截面为第一图形;第二管路,套接于第一管路的外部,且第二管路内的横截面为第二图形,第一图形和第二图形为具有有限条对称轴的轴对称闭合平面图形,工艺气体从第一图形与第二图形的重叠管径内流通,其中,通旋转第二管路和/或第一管路改变重叠管径的交叉截面积,以调节流经重叠管径的工艺气体的流阻;真空接头,设于第一管路和第二管路的连接端,通过旋紧以固定第一管路和第二管路。本发明能够降低各分气支路中流阻调整的复杂性,且不会破坏管路的洁净环境,还能提高各分气支路中气体流阻调节的精确性。
天眼查资料显示,拓荆科技(上海)有限公司,成立于2020年,位于上海市,是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本143253.79万人民币。通过天眼查大数据分析,拓荆科技(上海)有限公司参与招投标项目37次,专利信息357条,此外企业还拥有行政许可40个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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