中国离子注入机研发新突破，芯片供应安全再添保障

中国长期以来一直完全依赖进口高能离子注入机。日前，中国研发出一款高度先进的"显微手术刀"，在突破芯片供应链关键瓶颈方面取得了重要进展。

中国原子能科学研究院1月18日宣布，成功研制出国内首台具有完全自主知识产权的高能氢离子注入机，命名为POWER-750H，性能达到国际同类先进水平。离子注入机在特定半导体制造工艺中起着至关重要的作用，它利用加速离子将精确数量的材料注入硅片。专家表示，掌握这项技术对于中国推进高科技芯片国产化生产、减少对外国供应商的依赖至关重要。

中国原子能科学研究院表示，长期以来，中国完全依赖进口高能氢离子注入机，国外的技术限制和市场垄断制约了国内该技术的发展。基于数十年核物理和加速器技术积累，该院现在利用串列加速器技术实现了完全自主设计能力。这一突破覆盖了从基本原理到全系统集成的每个阶段，使中国能够在国内生产串联式高能氢离子注入机，减少对海外供应商的依赖。

专家认为，这标志着我国在加强半导体制造基础设施方面迈出了重要一步。此外，实现这些高能离子注入机的国产化发展，将有力推动我国半导体自主可控能力建设，增强不依赖外国技术生产关键部件的能力。与此同时，掌握离子注入技术已成为中国的一项战略重点，因为该技术被认为是半导体制造中"四大核心装备"之一。然而，开发如此先进的设备需要克服重大技术挑战。

芯片生产需要极高的精度和稳定性，对于离子注入机而言，这意味着要控制纳米甚至原子尺度的多个参数。实现这种水平的控制对于生产高性能芯片和减少对进口技术的依赖至关重要，这将使中国得以加强国内半导体制造能力。

在离子注入过程中，离子会改变硅片中特定区域的电学性能。更高能量的离子束穿透深度更大，可形成芯片工作的内部结构，如晶体管和二极管。如果离子束不稳定，芯片性能就会受损，而且设备必须长期稳定运行才能满足工业需求。

与光刻机不同，离子注入机并非用于每个芯片的制造，但对于某些应用场景（包括节能半导体和高质量图像传感器）来说却必不可少，在这些领域，注入精度直接影响芯片性能和良率。

过去十年来，中国不断加强半导体产业建设，构建更加自主可控的供应链。中微公司的刻蚀设备已用于5纳米芯片生产，上海微电子的封装光刻系统为数据中心芯片提供支撑，海思等企业设计出世界一流的移动"片上系统"，国内企业在电子设计自动化软件领域的市场份额稳步增长，这些共同助力中国打造更完整的半导体生态系统。

如果朋友们喜欢，敬请关注“知新了了”！